关于硅片制作的过程
硅片制作分为七步骤。
1、 硅棒粘接:用粘接剂对硅棒和碳板进行粘接,以利于牢固的固定在切割机上和方位角的确定。
2、 切片:主要利用内圆切割机或线切割机进行切割,以获得达到其加工要求的厚度,X、Y方向角,曲翘度的薄硅片。
3、 面方位测定:利用X射线光机对所加工出的硅片或线切割前要加工的硅棒测定其X、Y方位角,以保证所加工的硅片的X、Y方位角符合产品加工要求。
4、 倒角前清洗:主要利用热碱溶液和超声波对已切成的硅片进行表面清洗,以去除硅片表面的粘接剂、有机物和硅粉等。
5、 倒角:用不同的砥石形状和粒度来加工出符合加工要求的倒角幅值、倒角角度等,以减少后续加工过程中可能产生的崩边、晶格缺陷、处延生长和涂胶工艺中所造成的表面层的厚度不均匀分布。
6、 厚度分类:为后续的磨片加工工艺提供厚度相对均匀的硅片分类,防止磨片中的厚度不均匀所造成的碎片等。
7、 磨片:去除切片过程中所产生的切痕和表面损伤。
0
纠错
猜你喜欢
点香头是什么意思
点香头说的是在每年的正月初一,上山去庙里上香的时候,上香的第...儿童买飞机票的标准
出生天以内的婴儿,不予接收,天至周岁的婴儿,乘机按成人票价的...揭秘:月经期间注意八大日常禁忌
不宜进补一般吃补的药饍中多添加米酒助行血气,或是活血化淤的汉...中国古代有名的丝织品
中国古代丝织品种有绢纱绮绫罗锦缎缂丝等。南京云锦成都蜀锦苏州...三月三抛绣球的由来
三月三抛绣球的由来可以追溯到多年前的花山壁画,当时人们会用一...2022春节自驾返乡人员最新规定:要做核酸检测吗
春节临近,返乡的人员也在逐渐增多。不过由于疫情原因,现在各地...海南考雅思的难度
雅思的卷子全国都一样,所以海南与其他考点的难度是一样的,雅思...黑芝麻糊怎么冲才黏稠
冲黑芝麻糊粘稠的方法是先将芝麻糊打开倒进碗里面,然后将准备好...生产消毒液需要什么资质
作为经营者办营业执照即可,在经营范围内要有消毒剂。向厂家索取...简朴寨这个国家乱吗
不是简朴寨,应该是柬埔寨,柬埔寨的治安很好的,柬埔寨是信佛教...批捕刑拘与逮捕的区别是什么
批捕刑拘与逮捕的区别是法律性质和依据不同适用对象不同目的和结...上海鲜炸里脊肉串在哪能找到
可在恩施州民族路号找到。材料里脊肉克鸡蛋清克植物油克精盐克大...皮鞋表面出白灰清理不掉
存放前应仔细除去鞋面上的污物,并涂擦鞋油。将皮鞋存放于较干燥...家里鱼缸怎么样养桂鱼
家里鱼缸养桂鱼方法选鱼,买桂鱼之前必须仔细观察他们的健康状况...土建质检员资格证书几年过期啊
土建质检员资格证书两年过期,需要年审。质检员的直接上级是对质...