光栅位移传感器的工作原理
光栅尺位移传感器,简称光栅尺,是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅位移传感器的工作原理,是由一对光栅副中的主光栅和副光栅进行相对位移时,在光的干涉与衍射共同作用下产生黑白相间或明暗相间的规则条纹图形,称之为莫尔条纹。经过光电器件转换使黑白相同的条纹转换成正弦波变化的电信号,再经过放大器放大,整形电路整形后,得到两路相差为90°的正弦波或方波,送入光栅数显表计数显示。
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