pet材料如何刻蚀
pet材料刻蚀是激光通过石英透镜聚焦后,照射在置于真空室内的pet膜片上,膜片可以转动。被激光照射后生成的产物由四极质谱(英国SXP300型)检侧,同时用一个基板来沉积固体产物。XeCl准分子激光器输出波长为308nm,脉宽10ns,单脉冲能量40-110mJ可调。聚苯醚酷全称聚对苯二甲酸乙二醉酌,简称pet,激光刻蚀高分子膜的研究内容之一是每个激光脉冲刻蚀膜层的深度。
pet是乳白色或浅黄色高度结晶性的聚合物,表面平滑而有光泽。耐蠕变、耐抗疲劳性、耐磨擦和尺寸稳定性好,磨耗小而硬度高,具有热塑性塑料中最大的韧性:电绝缘性能好,受温度影响小,但耐电晕性较差。无毒、耐气候性、抗化学药品稳定性好,吸水率低,耐弱酸和有机溶剂,但不耐热水浸泡,不耐碱。
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