流量单位中SCCM是什么
SCCM是质流单位,表示标准毫升每分钟,与一般常用的流量单位是不同的,常见的流量单位例如:1毫升每秒,代表单位时间流过的体积,而质流是表示单位时间通过的气体莫耳数,这种单位通常用于化学反应中,如CVD等需要精确控制原子成分比之场合。
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